陶瓷纤维管式炉设计用于1100℃或1700℃以下CVD工艺。采用开启式设计，方便样品操作及炉管更换。高纯电阻丝内嵌在轻质陶瓷纤维材料中，周边拓展系统齐全，适合高校、科研院所实验之使用。

1.最高温度1100℃、1700℃。

2.分体式设计，降温速率快。

3.工作管径范围φ30mm、φ40mm、φ50mm、φ60mm、φ80mm、φ100mm。

4.高纯气炼石英管或者高纯陶瓷管。

5.轻质陶瓷纤维隔热材料，耐热冲击性好，蓄热低。

6.快速升温，升温速率可达10℃。

7.半导体继电器控制加热元器件，控温精确，寿命长，无噪音。

8.多段程序控温，PID调节，可编制多种升降温程序。

9.超温保护功能，超温自动断电。

1.真空泵

2.多区控温，两温区YMG(2)系列或三温区YMG(3)系列（如下图）

3.瑞典kanthal 电热丝

4.数显真空计（高精度显示真空值）

5.多路气氛混气系统（浮子流量计或质量流量计）

6.无纸纪录仪（带通讯端口）